本设备是一款超高分辨率低真空场发射扫描电镜, 具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式,可以 对有机材料、基板、多孔材料、塑料以及高聚物材料等 有电荷积累的样品或污染性样品进行超高分辨率表征。 性能及指标 1、分辨率:高真空模式:1.0nm @15kV,1.4nm @1kV 低真空模式:1.5nm @10kV(Helix探测器), 1.8nm @ 3kV(Helix探测器) 2、加速电压:500V~30kV连续可调; 3、电子束流范围:0.6pA~200nA连续可调; 4、样品台移动范围:X=Y=110mm; 5、电子束参数:射束着陆能量:500eV-30keV; 6、标样放大倍数:40倍~60万倍; 7、倾斜角度:-10°~70° | |
功能及用途 1、采集二次电子、背散射电子等信号对各种固体材料进行的微观形貌分析; 2、对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析; 3、可实现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析、线分析及面分布分析; 4、配备的背散射探头可获得样品成分衬度图片; 5、配备的低真空探头可对不导电样品进行形貌及成分分析,而不需要进行喷金处理。
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