一、概述：             
       Innova 是美国布鲁克公司(Bruker  AXS)所有扫描探针显微镜产品中性价比最高的一款产品，其闭环扫描的噪音水平接近一些高端开环扫描系统的水平，可广泛应用于器件表征、物理、材料科学和生命科学领域。

      集成的符合人体力学的彩色光学系统和可编程马达驱动的Z-样品台可快速简便地寻找特征点以及更换针尖或样品。 Innova  的扫描头由三个独立的马达控制，可以方便地调整样品和针尖的相对位置。另外，通过标配和选配模块，Innova 可进行扫描探针显微镜全系列的测量模式，因而具有很强的灵活性和适用性。开放式的设计便于进行用户化的实验，如插入电极进行电化学和电学测试。

二、性能及指标：
闭环扫描管：XY > 90 μm，Z > 7.5 μm     

开环扫描管：XY > 5 μm, Z > 1.5 μm
样品尺寸： X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm   

扫描长度：1-100μm
电动Z轴载物台：   Z轴行程： 18mm
光学系统：

      摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦
      视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x物镜)
      垂直分辨率：标准10x物镜<2μm (50x物镜<0.75μm)
电子电路：20位DAC控制器，100kHz、±10v ADCs，数字反馈器件

三、功能及用途：

     探针轻敲或接触被测样品，通过测定原子间相互作用力来表现样品的表面形貌，进一步进行静电力和磁力测试。